闻观于埃尔戈阿特（，于埃位于该省东部偏北，尔戈北西南三面环大西洋，阿特 行政 的于埃邮政编码为，东临阿摩尔滨海省和莫尔比昂省。尔戈 的阿特时区为UTC+01:00、 参见 菲尼斯泰尔省市镇列表 参考文献 H 与接壤的市镇（或旧市镇、 人口 于时的人口数量为人。UTC+02:00（夏令时）。
于埃尔戈阿特（，于埃位于该省东部偏北，尔戈北西南三面环大西洋，阿特 行政 的于埃邮政编码为，东临阿摩尔滨海省和莫尔比昂省。尔戈 的阿特时区为UTC+01:00、 参见 菲尼斯泰尔省市镇列表 参考文献 H 与接壤的市镇（或旧市镇、 人口 于时的人口数量为人。UTC+02:00（夏令时）。
針對法人關注的股利配發率，蕭玉美說明，過去兩年華南金現金股利配發率均維持在 7 成以上，今年將綜合考量子公司現金股利上繳情形、財務比例、股利配發穩定性、現金流量及各子公司資本需求，並兼顧股東權益。
蕭玉美指出，去年華南金配發現金股利 1.25 元與股票股利 0.1 元，在 114 年獲利創高基石下，今年整體股利水準有望提升，預計 4 月提報董事會通過後正式公告。
為長期提升競爭力及永續發展，華南金控啟動「五年策略發展藍圖」。蕭玉美指出，新藍圖在既有的資本管控基礎上，進一步拉長時間軸，目標是從過去的「小而美」轉向「集團大化」規模發展。
蕭玉美強調，未來五年集團的複合成長率預計將達到高位數（High Single Digits）水平。針對 115 年度（2026 年）的營運目標，預期在持續優化獲利結構與提升資本使用效率的帶動下，今年獲利有望較去年成長一成以上。
在手續費收益方面，華南銀行對財富管理業務展現高度信心。目前華南銀行往來資產達 1 億元以上的高資產客戶數已突破 2300 人。華南銀主管補充，華南銀成立已逾百年，許多長期合作的中小企業夥伴正是高資產業務的主要來源，預期客戶數將隨台灣經濟動能一同成長。
此外，華南銀行正積極將全台高資產客戶引薦至亞資中心高雄專區開戶，以享有試辦業務相關服務。配合數位理財工具的優化，預估 115 年（2026 年）的手續費淨收益目標成長率將落在 5% 至 18% 之間。
" src="法說會現場，有小股東指出，華南金過去在獲利穩健年度多能提供優渥的股利回饋，參考同業及過往盈餘分配經驗，建議 114 年度的配發率應以 8 成（80%）為目標，以回饋長期支持的股東，且 114 年獲利創下亮眼成績，配發率的高低，將是市場評估華南金資本管理能力的重要指標。
針對法人關注的股利配發率，蕭玉美說明，過去兩年華南金現金股利配發率均維持在 7 成以上，今年將綜合考量子公司現金股利上繳情形、財務比例、股利配發穩定性、現金流量及各子公司資本需求，並兼顧股東權益。
蕭玉美指出，去年華南金配發現金股利 1.25 元與股票股利 0.1 元，在 114 年獲利創高基石下，今年整體股利水準有望提升，預計 4 月提報董事會通過後正式公告。
為長期提升競爭力及永續發展，華南金控啟動「五年策略發展藍圖」。蕭玉美指出，新藍圖在既有的資本管控基礎上，進一步拉長時間軸，目標是從過去的「小而美」轉向「集團大化」規模發展。
蕭玉美強調，未來五年集團的複合成長率預計將達到高位數（High Single Digits）水平。針對 115 年度（2026 年）的營運目標，預期在持續優化獲利結構與提升資本使用效率的帶動下，今年獲利有望較去年成長一成以上。
在手續費收益方面，華南銀行對財富管理業務展現高度信心。目前華南銀行往來資產達 1 億元以上的高資產客戶數已突破 2300 人。華南銀主管補充，華南銀成立已逾百年，許多長期合作的中小企業夥伴正是高資產業務的主要來源，預期客戶數將隨台灣經濟動能一同成長。
此外，華南銀行正積極將全台高資產客戶引薦至亞資中心高雄專區開戶，以享有試辦業務相關服務。配合數位理財工具的優化，預估 115 年（2026 年）的手續費淨收益目標成長率將落在 5% 至 18% 之間。
" class="thumb" />本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" src="随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" class="thumb" />DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用2026-06-12 00:08感兴趣的市民可进入“广东税务”微信公众号页面，在2026大湾区大学生税收辩论邀请赛主题推文中，就辩题扫码投稿，将辩题连同创作思路，联系方式及收件地址发送给税务机关。
按照征集要求，相关辩题应紧扣当前政策与热点，紧密结合税收法治主线，并关联当前社会关注的税收热点。选题需具备现实意义与公众讨论价值，能够引发大家对税收工作的深入思考。同时，还应具备创新与深度；表述清晰并具备平衡性。
为增强征集活动互动性，扩大参与面，赛事组委会还准备了一系列奖项和趣味奖品，每位提交辩题的市民网友都将有机会获得奖品。共有三个奖项，其中洞见先锋奖，名额5个；表彰在逻辑结构，论证深度和主题关联上表现卓越，能提供优质案例的辩题，奖品为无线蓝牙键盘、鼠标套装。税辩新星奖，10个；奖励具有独特视角和创新思维的辩题，奖品为智能手环。思维启迪奖，20个；奖励富有创意，能帮助赛事组委会拓展思维边界的辩题，奖品为赛事周边文创产品。
辩题证集时间为即日起至2026年4月20日，辩题证集获奖结果将在赛事结束后公布。
据珠海市税务局相关工作人员介绍，本届赛事设初赛、复赛、半决赛、决赛等环节，分别采取线上、线下方式进行，决赛暂定于4月下旬在我市举行。
大湾区大学生税收辩论赛自2019年首届赛事开启已举办七届。7年来，直接参与该赛事的粤港澳大湾区青年学子超过1000人次。
" src="20日，记者从国家税务总局珠海市税务局了解到，第八届大湾区大学生税收辩论赛暂定今年4月在我市举行。目前，辩题征集工作已经启动，赛事组委会设三个奖项35个奖品名额，激励市民及广大网友参与。
感兴趣的市民可进入“广东税务”微信公众号页面，在2026大湾区大学生税收辩论邀请赛主题推文中，就辩题扫码投稿，将辩题连同创作思路，联系方式及收件地址发送给税务机关。
按照征集要求，相关辩题应紧扣当前政策与热点，紧密结合税收法治主线，并关联当前社会关注的税收热点。选题需具备现实意义与公众讨论价值，能够引发大家对税收工作的深入思考。同时，还应具备创新与深度；表述清晰并具备平衡性。
为增强征集活动互动性，扩大参与面，赛事组委会还准备了一系列奖项和趣味奖品，每位提交辩题的市民网友都将有机会获得奖品。共有三个奖项，其中洞见先锋奖，名额5个；表彰在逻辑结构，论证深度和主题关联上表现卓越，能提供优质案例的辩题，奖品为无线蓝牙键盘、鼠标套装。税辩新星奖，10个；奖励具有独特视角和创新思维的辩题，奖品为智能手环。思维启迪奖，20个；奖励富有创意，能帮助赛事组委会拓展思维边界的辩题，奖品为赛事周边文创产品。
辩题证集时间为即日起至2026年4月20日，辩题证集获奖结果将在赛事结束后公布。
据珠海市税务局相关工作人员介绍，本届赛事设初赛、复赛、半决赛、决赛等环节，分别采取线上、线下方式进行，决赛暂定于4月下旬在我市举行。
大湾区大学生税收辩论赛自2019年首届赛事开启已举办七届。7年来，直接参与该赛事的粤港澳大湾区青年学子超过1000人次。
" class="thumb" />辩题征集已启动！第八届大湾区大学生税收辩论赛将在珠海举行2026-06-12 01:46假日期间，来自市文化和旅游局、琅琊区古道社区、南谯区徐岗社区等单位的志愿者身穿红马甲、肩披红绶带、佩戴“人人都是迎客松”徽章，配合景区文明旅游志愿者，向市民游客耐心解答咨询提问、主动提供应急帮扶，协助工作人员维持秩序，疏导客流。与此同时，在旅游不文明行为易发频发区域，他们通过不间断巡查，及时劝导和制止各类旅游不文明行为，引导大家自觉遵守和维护公共秩序。
此外，志愿者还围绕主题，在景区入口向市民游客发放《中国公民文明旅游公约》《文明旅游十大提醒语》等宣传资料，进一步增强大家的文明旅游意识，倡导文明旅游是最美的风景，持续擦亮国家5A级旅游景区文明底色。（郝俊媛 张 倩 赵忠莉）
" src="国庆、中秋假期期间，琅琊山风景区多措并举，联合多家单位，紧扣“人人都是迎客松”主题，广泛开展安徽文旅志愿服务活动。
假日期间，来自市文化和旅游局、琅琊区古道社区、南谯区徐岗社区等单位的志愿者身穿红马甲、肩披红绶带、佩戴“人人都是迎客松”徽章，配合景区文明旅游志愿者，向市民游客耐心解答咨询提问、主动提供应急帮扶，协助工作人员维持秩序，疏导客流。与此同时，在旅游不文明行为易发频发区域，他们通过不间断巡查，及时劝导和制止各类旅游不文明行为，引导大家自觉遵守和维护公共秩序。
此外，志愿者还围绕主题，在景区入口向市民游客发放《中国公民文明旅游公约》《文明旅游十大提醒语》等宣传资料，进一步增强大家的文明旅游意识，倡导文明旅游是最美的风景，持续擦亮国家5A级旅游景区文明底色。（郝俊媛 张 倩 赵忠莉）
" class="thumb" />琅琊山风景区志愿者助力文明旅游2026-06-12 00:44